留有生機！ASML官網顯示：支持7nm高端DUV光刻機仍可出口

荷蘭政府宣布了限制某些先進半導體設備出口的新規定，這些規定將于9月1日生效。具體而言，荷蘭政府將要求先進芯片制造設備的公司在出口之前須獲得許可證。

ASML在其官網發表聲明稱，該公司未來出口其先進的浸潤式DUV光刻系統（即TWINSCAN NXT:2000i及后續浸潤式系統）時，將需要向荷蘭政府申請出口許可證。而

ASML強調，該公司的EUV系統的銷售此前已經受到限制。

據ASML官網提供的信息，該公司目前在售的主流浸沒式DUV光刻機產品共有三款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

阿斯麥3月曾表示，預計2000i和2050i這兩款產品會受到荷蘭政府的出口限制。再對比阿斯麥今天的回應來看，TWINSCAN NXT:1980Di這款浸潤式DUV光刻機并不在限制范圍內。

ASML官網上關于這一臺TWINSCAN NXT:1980Di的介紹，其中在分辨率方面，寫到是大于等于38nm（可以支持到7nm左右），而這是指一次曝光的分辨率，事實上光刻機是可以進行多次曝光的。

理論上NXT:1980Di依然可以達到7nm，只是步驟更為復雜，成本更高，良率可能也會有損失，晶圓廠用這一臺光刻機，大多是生產14nm及以上工藝的芯片，很少去生產14nm以下的工藝，因為良率低，成本高，沒什么競爭力。